真空箱式氦檢漏儀在科技時代的市場應用和發(fā)展
2022.09.08
(1)便攜性:許多真空箱式氦檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了很大的便利。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口的壓力可高達數(shù)百帕，對于檢測大系統(tǒng)和泄漏工件非常有用。
(3)高度自動化：氦峰自動標定，零點自動調整，量程自動轉換，數(shù)據(jù)自動處理，可外接打印機。全機由微電腦控制，具有選菜功能，一鍵完成全檢漏過程。
(4)完全無油的干式檢漏:一些地方生產(chǎn)的檢漏儀可以采用干式泵，達到無油蒸汽的效果，為無油系統(tǒng)、晶片等半導體器件的檢漏提供了有利條件。
當發(fā)現(xiàn)真空箱式氦檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染。
這個時候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進行清洗。具體的清洗方法如下：
先用較細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內表面及離子源各電及部件，這里不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電及部件；然后用航空汽油或丙酮和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導致磁鐵退磁，使檢漏儀的靈敏度降低。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護后的氦質譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。
